1、概述
油增压泵的工作原理与油扩散泵相似,因此具有相似的特点,并且应用领域也相似。只是油增压泵工作压强范围比油扩散泵高(10~10-2Pa),所以油增压泵除作主泵外,还可作油扩散泵的前级泵,起增压作用。
2、油增压泵的工作原理与结构
图5:油增压泵的工作原理图
油增压泵的结构示意图如图5所示。其工作原理与油扩散泵相似,仍然是以靠工作射流来携带气体,达到抽气目的。不同点是油增压泵的射流主要是以靠被抽气体与蒸汽射流之间的粘滞摩擦来携带气体进行抽气。为使油增压泵能在较高的压强区域内工作,必须增大蒸汽射流强度(密度),所以油增压泵的加热功率要比同容量的油扩散泵大得多。